Indukcyjnie sprzężona plazmowa spektrometria masowa (ICP-MS) jest rodzajem spektrometrii masowej, która jest bardzo czuła. Widać w niej szereg metali i kilka niemetali w stężeniach poniżej jednej części w 1012 r. (część na bilion). Polega ona na łączeniu indukcyjnie sprzężonej plazmy jako metody wytwarzania jonów (jonizacji) ze spektrometrem masowym jako metodą rozdzielania i wykrywania jonów. Wielu chemików używa argonu jako gazu nośnego do produkcji plazmy. Maszyna wysyła próbki jonów przez serię małych stożków. Stożki te wpuszczają jony plazmy powoli do komory próżniowej spektrometru masowego.
W analizie pierwiastków śladowych, metoda ta ma zalety wysokiej prędkości, precyzji i czułości w porównaniu z technikami absorpcji atomowej. Analiza niższych stężeń jednocześnie jest bardziej podatna na zakłócenia spowodowane śladowymi zanieczyszczeniami w naczyniach laboratoryjnych i stosowanych odczynnikach. Niektóre anality nie mogą współpracować z ICP-MS. Weryfikacja wyników analizy wymaga dodatkowej pracy.
Różnorodność zastosowań jest większa niż w przypadku ICP-OES i obejmuje specjację izotopową. Ponieważ ICP-MS może pomóc w produkcji bomb atomowych, sprzęt ICP-MS jest przedmiotem specjalnych przepisów eksportowych.